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金融界2025年5月31日消息配资注册免费体验,国家知识产权局信息显示,北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“半导体工艺设备及其排气系统”的专利,公开号CN120072681A,申请日期为2023年11月。 专利摘要显示,本申请提供一种半导体工艺设备及其排气系统,排气系统包括排气机构和负压调节机构,排气机构包括排气管线、控压阀以及出气管线,排气管线连接半导体工艺设备的工艺腔室和控压阀,出气管线连接控压阀和废气管线,控压阀用于控制排气管线的排气压力;负压调节机构包括调节气源、调节管线和流量